Fraunhofer HHI selecciona el sistema Sputter de Veeco

L’Institut d’investigació en telecomunicacions òptiques ordena un sistema de polvorització de feixos iònics per crear recobriments de facetes làser i dispositius microòptics.
COATING

HHI utilitzarà la tecnologia IBS de Veeco per crear recobriments de facetes làser.

Veeco Instruments ha anunciat que ha enviat el sistema Spector Ion Beam Sputtering (IBS) i el sistema de monitorització òptica Sirius al Institut Fraunhofer per a Telecomunicacions(HHI).
L'institut, amb seu a Berlín, Alemanya, diu que utilitzarà aquesta tecnologia IBS "per desenvolupar i produir revestiments de facetes làser i altres dispositius microòptics".
"El desenvolupament de sofisticats dispositius microòptics requereix una tecnologia excepcional de polvorització", va comentar Greta Ropers, cap de backend i grup d'embalatge de Fraunhofer.
"El sistema Spector de Veeco, juntament amb el Sirius OMS, garantirà que estem desenvolupant i produint dispositius de classe mundial amb el màxim rendiment i repetibilitat de processos en una plataforma automatitzada i consolidada".

Pel·lícules primes òptiques
La plataforma Spector genera pel·lícules fines òptiques d'alta qualitat amb nivells de productivitat i rendiment millorats, segons els clients. A diferència dels recobriments evaporatius, les pel·lícules primes escampades per feixos iònics es dipositen a altes energies, cosa que proporciona un control de gruix excepcional i densitats de defectes baixes per a aplicacions de recobriment làser. El Sirius OMS millora la capacitat de la plataforma Spector mitjançant l’acoblament del control de vigilància de banda ampla amb l’estabilitat de les pel·lícules dipositades pel feix iònic. .
"El líder mundial Fraunhofer HHI en el desenvolupament de recobriments de facetes làser de nova generació i dispositius microòptics", va dir el Dr. Adrian Devasahayam, vicepresident i director general del negoci de Deposició i Etch (AD&E) de Veeco. "El sistema Spector proporciona una qualitat i una flexibilitat incomparables per al recobriment òptic de pel·lícules primes i accelerarà els seus objectius de desenvolupament".
El finançament d 'aquest projecte va ser atorgat per l' Forschungsfabrik Mikroelektronik, una fàbrica de recerca entre ubicacions per a microelectrònica i nanoelectrònica, que compromet onze instituts del grup Fraunhofer juntament amb les innovacions per a la microelectrònica d’altes prestacions i el Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. El sistema es va vendre en col·laboració amb el soci europeu del canal Veeco,Veonis Technologies.


Hora de publicació: 31 d'octubre de 2019